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PRODUCTS CENTER當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心MDPFreiberg--MDPinlineMDP高速晶圓片在線面檢測(cè)儀--少子壽命檢測(cè)
產(chǎn)品分類
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--Freiberg Instruments成立于2005年,源自德國(guó)弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。初致力于開發(fā)一系列快速、無(wú)損的電氣特性測(cè)試工具,用于測(cè)量少數(shù)載流子壽命、光電導(dǎo)率和電阻率等參數(shù)。
--2012年整合了Magnettech公司,該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn);2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chǎn)品。
--Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速,充滿活力,專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于劑量學(xué)、醫(yī)學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測(cè)定和x射線衍射等領(lǐng)域。
?產(chǎn)品介紹
MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測(cè)儀--少子壽命檢測(cè))是一種用于快速定量測(cè)量載流子壽命并集成掃描功能的檢測(cè)儀。通過(guò)工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時(shí)間內(nèi),就可以“動(dòng)態(tài)”測(cè)量出晶圓圖。該儀器可為每個(gè)晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),有效提高了生產(chǎn)線的成本效益和效率。且其實(shí)時(shí)質(zhì)量檢測(cè)可以提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。
?產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
--在非常短的時(shí)間內(nèi)獲得數(shù)以千計(jì)的晶圓片的統(tǒng)計(jì)信息可有效地幫助晶圓廠控制過(guò)程和生產(chǎn)。
--適用于測(cè)量晶圓片的材料質(zhì)量,以及識(shí)別晶圓片層面的結(jié)晶問(wèn)題,例如在光伏行業(yè)。
--適用于擴(kuò)散過(guò)程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。
?技術(shù)參數(shù)
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