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產(chǎn)品中心MDP單晶和多晶硅片壽命測(cè)量?jī)x(MDPmap)
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MDPmap單晶和多晶硅片壽命測(cè)量?jī)x被設(shè)計(jì)成一個(gè)緊湊的臺(tái)式非接觸電學(xué)表征工具，用于離線(xiàn)生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)（μ-PCD）下，在一個(gè)寬的注入范圍內(nèi)測(cè)量參數(shù)，如載流子壽命、光導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置允許輕松適應(yīng)各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過(guò)不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓。
更新時(shí)間：2024-07-11
產(chǎn)品型號(hào)：MDPmap-1
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